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ATM-240L
ATM-240L 用于產生高濃度 PSL 小球氣溶膠進行設計研發。 在半導體和航空航天行業中的高效過濾器的測試中,不能采 用常見的油性氣溶膠物質(DEHS、PAO 等),即使很小的量也會 存在濾材中或者排出從而導致對產品造成損傷。
儀器應用儀器規格參數
l 產生示蹤粒子
l 測試 HEPA 和 ULPA 過濾器效率
l 測試大型潔凈間 VDI2083、DIN EN ISO14644
l 產生 PSL 小球